莱宝真空新一代高性能氦质谱检漏仪PhoeniX L300:特点:
1.简便、可靠的便携式氦质谱检漏仪
2.灵敏度高:5×10-13Pa m3/s
3.允许入口压强高:15mbar
4.快速清除氦本底
5.柔性配置,适用于真空炉、镀膜设备检漏,发电厂及变压器检漏,
6.及半导体制程设备的无油检漏
7.配置有线/无线遥控器RC310,可以实现遥控使用
应用范围:
1.元部件严密性检漏
2.科学研究
3.真空炉、镀膜设备等装置或系统生产和维护式严密性检漏
4.分析仪器
5.高真空和超高真空的工程
6.半导体晶圆制造
7.发电厂及变压器检漏
8.电子显微镜
9.汽车空调、汽车发动机
10.真空冶炼
11.航天航空、化纤制造、低温超导等



