Bpure Series 立式/卧式管舟清洗机
Bpure Series Vertical/Horizo ntal Tube/Boat Cleaning System
Bpure系列立式/卧式管舟清洗机广泛应用于集成电路、封装、光伏等领域。采用浸泡式处理工艺，主要用于12英寸及以下尺寸的扩散、外延等设备的石英管/舟、碳化硅管的清洗。此外，也可以用于清洗其它石英材质的零部件，如石英板、点火炮、保温桶等。
设备特点
- 全自动清洗，浸泡式清洗与喷淋式清洗工艺可选
- 一机多用，可兼容石英管/舟/工件清洗
- 自主研发控制系统，友好的人机交互界面
- 自动配液系统，换酸便捷
- 分级安全互锁设置，确保设备安全可靠
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晶圆尺寸
8、12 英寸
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适用材料
石英、碳化硅
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适用工艺
石英管/ 舟、石英板、点火炮、基座等零部件浸泡式清洗
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适用领域
集成电路、功率半导体、化合物半导体、科研领域