湖北朗驰 反应烧结碳化硅悬臂浆是半导体晶圆装载系统的关键部件。湖北朗驰 悬臂浆 性能稳定,在高温环境不变形,晶圆装载量大,适用于机器人自动装载和搬运系统,由于 湖北朗驰 悬臂浆截面稳定不变形,使得利用现有的炉管制备更大规格圆晶成为可能。湖北朗驰悬臂浆与LPCVD涂层的热膨胀系数相近,应用于LPCVD,极大的延长了维护清洗周期,并大幅减少污染物
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新突破来啦!湖北朗驰 反应烧结碳化硅悬臂浆
2017-02-15IP属地 火星740
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